RC 6化學雜交泵是將一個雙級旋片泵和一個雙級化學隔膜泵結合在一起，達到最佳的耐腐蝕效果。隔膜泵用以維持油腔內的真空度，使溶劑蒸汽的分壓保持在它們的露點之下，大大減少氧化性或腐蝕性氣體的冷凝。也可以在RC 6的出氣口增加溶劑回收系統(tǒng)PC 8，組成系統(tǒng)PC 8/RC 6。因其有效的溶劑回收效果，PC 8/RC 6真空系統(tǒng)具有優(yōu)異的環(huán)境友好性。